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宜特科技 | 掃描式電子顯微鏡 (SEM)

原理 掃描式電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope, SEM）主要利用電子光學系統將電子槍產生的電子聚焦成一微小的電子束至樣品表面，並利用掃描線圈使其在樣品表面上掃描。 電子束與樣品間的交互作用會激發出各種訊號，如: 二次電子、背向散射電子及 ......

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