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半導体デバイスの微視解析技術

半導体デバイスの微視解析技術 原子像を得ることも可能である。極薄酸化膜が形成されて いる試料表面に導電性の探針を接触させると,探針と試料 間には図4で示したような微小なMOSキャパシタが形成...

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